● 加热系统：

增压式强制循环热风加热系统，前后回风设计，有效防止温区间气流影响，保证优良的温度均匀性和加热效率；温控精度±1℃，板面温度横向偏差±1.5℃，室温到恒温时间小于20分钟。

● 冷却系统：

全新专利结构设计，强制风冷及水冷结构可升级互换；维护保养方便快捷；冷却区温度显示可调。

基本参数：

冷却方式： 上2个冷却区：风冷。

温区配置： 8温区，16加热模块。

温度重复精度： 连续生产情况下，各基板间温差±1℃。

设备重复精度： 同等工艺设置下，不同时期所测温度曲线重复性能±1℃。

温区风速调节： 上下温区风速独立调节。